文章摘要:对准标记精确定位是晶圆键合精度实现的关键，为了提高对准标记定位算法在精度、实时性及适应性，提出了一种基于边缘检测拟合定位的高精度对准标记定位算法。该方法结合分级金字塔模型对对准标记进行逐级定位，获得像素级的目标区域粗定位结果，根据目标区域粗定位结果，结合Canny检测器与改进的高斯拟合法，对对准标记的亚像素轮廓进行拟合，在此基础上结合中心对称的对准标记特征，利用改进后的最小二乘法快速拟合对准标记的中心位置，实现对准标记的精确定位。通过实验验证了该方法的有效性，实验结果表明，提出的对准标记定位算法在快速定位目标区域的同时，可实现约0.06μm的重复定位误差，满足了晶圆键合对准的精度、实时性和适应性的需求。

文章关键词:

项目基金:摩檫学国家重点实验室基金（SKLT2020D23）课题资助,

论文作者:鲁沛昕 杨开明 鲁森 朱煜 

作者单位:清华大学机械工程系摩擦学国家重点实验室 

论文分类号: TP391.41

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